SIMS：ZERO

想像一下，獲得類似EDX的光譜，無需耗時的挖溝和提升。
想像一下，收集SIMS數據的速度要快100倍，並具有最終的空間分辨率。
想像一下加工分辨率比市場上任何其他FIB更好。
現在想像一下所有這些都在一個平台上。
zeroK NanoTech和盧森堡標準與技術研究所的目標是聯合起來提供一種全新的分析儀器。
我們正在利用新的低溫離子源技術實現迄今為止前所未有的性能水平。

特徵                             優點
Cs +離子束具有納米分辨率                         獲得類似EDX的光譜......沒有薄片製備！
10+ nA束電流（Cs +）                              快速收集SIMS數據100倍
功能齊全的FIB系統                                      機器精度更高
最高分辨率的SIMS                                      端點使用質譜
所有質量的並行讀數                                    使用SIMS進行納米加工過程控制