HPT系列 真空電漿表面處理系統
低壓表面清潔、改質、活化、蝕刻等的優良工具，適用於各種材料，包括金屬，陶瓷，複合材料，塑料，聚合物和生物材料。
主要應用於處理複合物材料、PDMS微流控裝置、顯微鏡樣品清理、光學及金屬清理、生物醫學應用和醫療器材製造。
產品特色
- 耐用的不鏽鋼腔體
- 適用於多種氣體，包含氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等，以達到最佳清潔效果
- 汽化輸送口具耐鏽蝕性，能處理特定物質，如：聚二甲基矽氧烷＆微流控裝置、聚醚醚銅＆工程聚合物及聚四氟乙烯
- 高穩定度，電漿瓦數0-300W 連續性可調式功率，使處理特定材料時更為穩定
- 高可靠度，流量控制採 MFC 數位控制，可精準控制氣體流量
- 高自動化，觸控操作介面且結合安全互鎖功能，腔體狀態異常情況(氣壓、溫度異常等)下電漿不會啟動
| HPT-100FI HPT-100 SI HPT-100 DI |
HPT-200 SI HPT-200 DI |
HPT-300 SI HPT-300 DI |
HPT-500 SI HPT-500 SI |
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外觀尺寸／重量 |
55ｘ52ｘ28.6公分 22公斤 |
55ｘ52ｘ28.6公分 23公斤 |
61.5ｘ53.3ｘ46.6公分 43公斤 |
61.5ｘ53.3ｘ60公分 45公斤 |
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腔體 |
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材質 |
不鏽鋼 |
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形狀 |
圓柱型 |
長方型（可改為圓柱型） |
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尺寸 |
10ｘ28公分(直徑x高) |
15ｘ28公分(直徑x高) |
32x20x20公分(長x寬x高) |
40.5x24x24公分(長x寬x高) |
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放料盤 |
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材質／形狀 |
鋁／扁盤 |
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可處理面積 |
25.5ｘ9公分/層 (共1層) |
25.5ｘ13.5公分/層 (共1層) |
31ｘ19公分/層 (共3層) |
37ｘ20公分/層 (共3層，可客製5層) |
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電漿能量 |
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瓦數 |
100 W (可調式) |
200 W (可調式) |
250 W (可調式) |
300 W (可調式) |
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赫茲 |
40kHz |
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程序控制 |
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操作介面 |
5.7彩色液晶螢幕 |
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進氣口 |
SI單進氣: 1個MFC / DI雙進氣: 2個MFC [可客製水蒸氣進氣口] ; FI: 電漿作用氣體為空氣 |
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排氣口 |
１個 (可空氣破真空，亦可插軟管以特定氣體破真空) |
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進氣軟管 |
6mm軟管 |
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計時器範圍 |
1秒~99分59秒 |
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壓力計 |
Pirani (製程中顯示即時壓力值於操作螢幕上) |
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真空泵 |
2階旋轉 (可選油性泵或乾性泵) |
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＊適用於空氣、氧氣及其他非腐蝕性氣體 |
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其他 |
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電力 |
110-250 AC、50-60赫茲、450伏安(含泵)、熔絲6.3 |
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認證 |
CE、ROHS、WEEE |
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